ASM固晶機在5G光模塊光通信產品中的應用
Photon
全自動高精度固晶機
應用
廣泛適用于各種光收發器和傳感器封裝
例如: TOSA, ROSA, 機械光學接口 (MOI), 3D 傳感器, 慣性傳感器, 等
? 磚利透視焊頭圖像識別技術
? 高精度固晶
– XY位置精度 ± 3 μm @ 3σ
– 芯片偏轉 ± 0.1° @ 3σ
? 高產能
– 固晶周期 3 秒
? 可處理不同尺寸芯片
? 靈活物料處理
– 標準: 多晶圓處理 (可同時處理6片6”晶圓) 或料盒載入8”晶圓
– 選項: 可達 4” 華夫盒(waffle pack)或凝膠盒 (gel-pak)
? 使用光學文字辨識(OCR)追溯材料源頭,加強質量控制
? 可選項目
– 覆晶固晶
– UV 快速固化
機臺特色
